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高真空蒸镀设备(手套箱）

发布时间：2025-06-09

  • 设备名称：高真空蒸镀设备(手套箱）

  • 厂家型号：普迪真空 PD-400S/450S

  • 工艺类别：材料生长（镀膜）

  • 主要用途：该系列设备为钙钛矿太阳能电池产业研发专用设备，广泛应用于高校、科研院所的不同材料薄膜制备研究。也可用于生产线前期工艺试验等。设备可与手套箱对接方便在手套箱中操作，前滑动开门结构。（仅限钙钛矿太阳能电池制备）

  • 技术指标：

1. 设备兼容有机/无机蒸发，多元共蒸复合膜/分蒸获得多层膜

2. 样品台可升降调整源-基片距离，有效节约贵重材料，降低实验成本

3. 系统采用PLC+触摸屏操作，整体美观操作简单，自动化程度高

4. 腔体尺寸（L×W×H mm)：400×400×450/450×400×550

5. 设备尺寸（L×W×H mm)：950×780×1900/950×830×1900

6. 真空极限：优于（2E﹣5）Pa

7. 抽速保压：（5E﹣04）≤20min 保压12小时≤5pa

8. 膜厚均匀性优异（±3％~±5%），重复性优异（±3％~±5%）

9. 基片台：150mm×150mm/200mm×200mm

10. 蒸发源：可搭配4～8组蒸发源（兼容金属与有机），可共蒸或切换蒸发

  • 收费标准：240元/小时 (1小时起约)