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• 设备名称：参数分析仪

• 厂家型号：KEITHLEY 4200A-SCS

• 工艺类别：测试

• 主要用途：4200A-SCS 是全面集成的参数分析仪，可同步查看电流电压（I-V）、电容电压（C-V）和超快速脉冲式 I-V 特性。它能加快半导体、材料和工艺开发速度，适用于多种器件和材料测试，如 CMOS 晶体管、BJT、非易失性存储器、纳米器件、分立元器件、材料、光伏器件、功率器件等，可测量 Id-Vg、Vth、电阻、电容等众多参数，还用于可靠性测试。其 Clarius Software 软件提供测量、分析功能，有 450 多项应用测试，方便用户进行测试和数据分析。

• 技术指标：

1. 源测量单元（SMU）：有中等功率和高功率型号，电压最高 ±210V ，电流范围 100mA - 1A（可扩展）。电流分辨率 100fA，配前端放大器达 10aA；电压分辨率最低 0.2mV 。

2. 电容 - 电压单元（CVU）：4210-CVU 和 4215-CVU 在 1kHz - 10MHz 测量电容，提供 ±30V（60V 差分）DC 偏置，可扩至 ±210V 。1MHz 测 10pF 电容精度在 ±0.10% - ±0.19% 。

3. 超快速脉冲测量单元（PMU）：双独立通道，200MSa/s 采样率，有三种操作模式。10V 量程 10mA 电流测量，无 RPM 时精度 ±(0.5% + 100μA) ，有 RPM 时 ±(0.5% + 10μA) 。

4. I-V/C-V 多通道开关?？椋–VIV）：自动切换 I-V 与 C-V 测量，4 通道，最大电压 210V、电流 1A 。2 线模式 1kHz 测 1nF 电容精度约 ±0.8%（典型值）。

5. 远程前端放大器 / 开关模块（RPM）：在多种测量间自动切换，扩展 PMU 电流量程。10V 量程 100nA 电流测量，噪声 200pA（典型值），精度 ±(0.5% + 1nA)（DC）。

• 收费标准：280元/小时 (30分钟起约)