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光致发光测量系统

发布时间：2025-06-09

  • 设备名称：光致发光测量系统

  • 厂家型号： Onto  RPMBlue

  • 工艺类别：测试

  • 主要用途：光致发光为非接触、无损光谱测量技术，用来探索不同材料的电子结构。PL光谱用于获得不同结构或者材料的晶体结构发射信息。

  • 技术指标：

1. 晶圆尺寸：100 - 300 mm，配置532nm 激光器

2. 五个检测通道：光致发光、偏振、斜率、明场和暗场

3. 全表面扫描 （FS/BS/Edge） 和亚纳米灵敏度成像

4. 薄 （≥100μm） 和厚 （≤10mm） 晶圆

  • 收费标准：400元/小时 (30分钟起约)