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电化学CV

发布时间：2025-06-09

  • 设备名称：电化学CV

  • 厂家型号： Onto  ECVpro

  • 工艺类别：测试

  • 主要用途：对半导体器件设计和制造，器件中的载流子浓度、掺杂厚度以及杂质分布都是必须严格控制的参数，ECV提供了对杂质的浓度及分布更精确可靠的测量。ECV方法利用合适的电解液即可作为合适的肖特基接触的电极测量C-V特性，又可进行电化学腐蚀，因此可以层层剥离测量电激活杂质的浓度分布，剖面深度不受反向击穿的限制，并可测量pn结。

  • 技术指标：

1. 载流子浓度：1013cm-3 -1020cm-3

2. 深度：0.05μm-50μm

3. 深度分辨率：1nm

4. 信号幅度：0V至400mV pk-pk

5. 偏置电压：±10V

6. 尺寸:W =630mm， D=800mm， H=1730mm

  • 收费标准：400元/小时 (30分钟起约)