高分辨X射线衍射仪（HRXRD）
发布时间：2025-06-09
设备名称：高分辨X射线衍射仪（HRXRD）
厂家型号：PANalytical X pert3 MRD
工艺类别：测试
主要用途：该设备主要用途为测量GaAs、InP、SiC、GaN与GaSb等化合半导体材料的单晶和外延层材料的结晶完整性，外延层及相应半导体器件结构的组分、厚度、弛豫度等参数的测定，外延结构的晶格失配及应变状态分析，X-Y map均匀性分析，倒易空间mapping (RSM) ，XRR标定各类薄膜厚度等功能。
技术指标：
1. X射线最大功率：3kW
2. 管压、管流：15~60kV、5~55mA
3. 扫描范围：ω(0~90°)，2θ（0~160°），精度0.0001°
4. 五轴样品台：Ψ轴（±92°，最小步长0.01°），Φ轴（360°，最小步长0.01°）， XY轴（100x100mm，最小步长0.01mm）， Z轴（10mm，最小步长1μm）
5. 复合单色器：Cu kα1，光强≥7E7cps，4次U型Ge(400)晶体，发散度 7”
6. 样品尺寸：标准测试样品为4英寸，最大可放置8英寸样品
收费标准：240元/小时 (30分钟起约)
苏公网安备 32059002003194号